技術要求
) S) t4 O, e1 Q | 實施流程或方法 | 建議範圍 |
接地系統 | 設備接地 | < 1.0 ohm AC 阻抗 |
輔助接地 | < 1.0 ohm AC 阻抗 |
等電位接線 | < 1.0 x 10[sup]9[/sup] ohm |
共同點接地 | < 1.0 ohm AC 阻抗 |
個人接地 | 靜電環系統(坐/站) | < 35 x 10[sup]6[/sup] ohm |
靜電地板-鞋系統 | < 35 x 10[sup]6[/sup] ohm 或 < 100 伏特 |
保護區 | 工作表面 | < 1.0 x 10[sup]9[/sup] ohm, < 200 伏特 |
靜電環 | 0.8 x 10[sup]6[/sup] ohm ~ 1.2 x 10[sup]6[/sup] ohm |
靜電鞋 | < 1.0 x 10[sup]9[/sup] ohm |
靜電地板 | < 1.0 x 10[sup]9[/sup] ohm |
靜電椅 | < 1.0 x 10[sup]9[/sup] ohm |
離子風扇 | < ± 50伏特 offset |
架子 | < 1.0 x 10[sup]9[/sup] ohm |
移動設備 | < 1.0 x 10[sup]9[/sup] ohm |
AC電源工具 | < 1.0 ohm |
使用電池的工具 | < 1.0 x 10[sup]12[/sup] ohm |
溼度 | 30 ~ 70 RH % |
保護物料標籤 | 如「ESD保護」、「ESD敏感,請勿觸摸」 |
靜電衣 | 靜電衣 | 1.0 x 10[sup]5[/sup] ~ 1.0 x 10[sup]11[/sup] ohm |
ESD包裝 | 導電 | < 1.0 x 10[sup]4 [/sup]ohm |
靜電消散 | ≥ 1.0 x 10[sup]4[/sup] to < 1.0 x 10[sup]11[/sup] ohm |
遮蔽 | < 50 nJ |