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SEMI日前发布了五项新技术标准，涉及半导体、MEMS以及光伏制造产业，由设备及材料供应商、SEMI国际标准项目小组等的技术专家共同制定而成。
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6 ]7 |- t0 j/ C! J9 i2 F8 e7 z 此次新标准包含了对于光伏硅">光伏硅原料的检测方法。SEMI国际标准总监JamesAmano,表示，“随着光伏产业的迅速发展，SEMI已就光伏产业创建了一套标准体系。相信新标准的建立对于设备及工艺领域将有所保障。”& @- o$ i9 c i
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五项标准分别是：8 t4 G, w! K: @2 o! p; @
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GuideforUnderstandingDataQuality5 o0 a/ B, H. ]$ |
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SEMIF107' {, b _4 m) t: }' Q+ t; D
GuideforProcessEquipmentAdaptorPlates; d, V$ J) a, K3 g' H4 [7 N- o
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SEMIM75
1 R Q2 u3 v: _- \# j( l7 h SpecificationsforPolishedMonocrystallineGalliumAntimonideWafers6 R% ^. p8 T7 J
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SEMIMS8
' M/ h& j/ |; Y$ o- N6 T3 ~% F! F$ Q GuidetoEvaluatingHermeticityofMEMSPackages
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6 B) \, L% z- N$ v% ^3 o SEMIPV14 `! J# O% H: w
TestMethodforMeasuringTraceElementsinPhotovoltaic-GradeSiliconbyHigh-MassResolutionGlowDischargeMassSpectrometry9 |8 }5 ]) D2 C- p
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+ i0 t2 a2 n" i, ]来源：SEMI |
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发表于 2009-2-21 11:01
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